真空系統(tǒng)。是由真空泵、PLC程序控制系統(tǒng)、儲氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空系統(tǒng)。目前，該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體業(yè)、光電背光模組、機械加工等行業(yè)。

通常前級泵又兼作予真空抽氣泵。被抽容器到予抽泵之間的管路稱為予真空管路，該管路上的閥門稱為予真空管道閥。主泵出口到前級泵入口之間的管路稱為前級管道，該管路上的閥門稱為前級管道閥，而軟連接管道是為了隔離前級泵的振動而設(shè)置的。

    總起來說，一個較完善的真空系統(tǒng)由下列元件組成：

    1．抽氣設(shè)備：例如各種真空泵；

    2．真空閥門；

    3．連接管道；

    4．真空測量裝置：例如真空壓力表、各種規(guī)管；

    5．其它元件：例如捕集器、除塵器、真空繼電器規(guī)頭、儲氣罐等。

    那么，究竟什么是真空系統(tǒng)?用一句話來概括，就是：用來獲得有特定要求的真空度的抽氣系統(tǒng)。

    真空系統(tǒng)設(shè)計的基本內(nèi)容：是根據(jù)被抽容器對真空度的要求，選擇適當(dāng)?shù)恼婵障到y(tǒng)設(shè)計方案，進行選、配泵計算；確定導(dǎo)管、閥門、捕集器、真空測量元件等，進行合理配置，最后劃出真空系統(tǒng)裝配圖和零部件圖。